主动式消磁器/磁场补偿系统     产品描述          当今的高性能电子束相关的设备对变化的环境磁场非常敏感，比如离子束3D打印设备、电子显微镜、半导体光刻机、等离子切割机。当环境磁场发生变化时，电镜中的电子束会偏转，从而导致打印歪曲偏离、电子显微镜分辨率下降和图像失真。         MCS6x系列磁场消除系统通过动态创建几乎相等且方向相反的磁场来稳定电子束相关的设备周围的环境磁场，改善各种电子束、离子束设备周围恶劣的磁场环境，保障设备使用的磁场环境要求。         MCS6x系列磁场消除系统由磁传感器感知单元、磁场发生单元、磁场控制单元、显控单元等构成。综合了低噪声磁敏感技术、消磁线圈优化设计技术、磁场自动控制技术，实现了对宽频带杂散磁场的自动跟踪补偿，达到稳定磁场的目的。     技术参数 系统型号 MCS62 MCS64 MCS66 ◆典型用途 消除所有类型电子显微镜的交流磁场 消除所有类型电子显微镜的交流和直流磁场 消除半导体洁净室中CDSEM工具的9kHz磁场。也可以消除这些工具的交流和直流磁场 ◆待消除磁场 X, Y, Z磁场 X, Y, Z磁场 X, Y, Z磁场 ◆磁场测量类型 AC RMS and pk-pk Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental ◆测量精度 ±1.0% Reading ± 100pT ±1.0% Reading ± 1 nT ±1.0% Reading ± 1 nT ◆磁场动态范围 ≤6.0 µT ≤4.8 μT pk-pk 5 μT pk-pk ◆频率带宽 2.5 Hz至5 kHz DC至5 kHz DC至9 kHz ◆消除噪声限值宽 0.7nT RMS total ≤0.5 nT RMS total ≤0.5 nT RMS total ◆直流漂移 N/A < 2 nT/ 24 hours < 2 nT/ 24 hours ◆直流磁场限值 N/A ± 200 μT max ± 200 μT max ◆系统响应时间 100 µs内 100 µs内 10 µs内 ◆消除效果 50 X at 50/60 Hz 100 X at 50/60 Hz > 400 X at DC (增量) 20 X typ. at 9 kHz 200 X typ. at 60 Hz & DC     典型应用场合         1. 生命科学领域的冷冻电镜。 冷冻电镜可以直接观测蛋白质分子、生物病毒（埃博拉病毒、非典病毒、新冠肺炎病毒）的结构，但是冷冻电镜极易受到磁场、震动的影响；磁场影响主要来自大型用电设备、输电线路、轨道交通等。         2. 材料科学领域的扫描电镜。 扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其产生过程，可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界，可以观察在不同条件下边界移动的方式，可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等；但是扫描电镜容易受到磁场波动的影响而导致图像出现条纹。         3. 化工领域中的原理分析用电镜。 电镜可以用来观测催化剂的表面重构，深入研究反应机理，但是磁场干扰尤其是交流磁场干扰会使得球差矫正透镜的图像模糊、扭曲。         4. 半导体工艺中的缺陷分析用电镜。 硅片表面玷污是影响微电子器件质量的严重问题。扫描电镜可以检查和鉴定硅片表面玷污的种类、来源。用扫描电镜还可以检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜、可以显示其微观结构。         5. 纳米制造领域的加工精度保证。 纳米科技的发展引领纳米尺度制造业的迅速发展，纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，成为了纳米级分析、制造的主要方法。但是离子束极易受到磁场的影响，无论是恒定磁场还是变化的磁场均会使得加工精度受到影响。